带电粒子束轨迹控制装置，涉及电子离子光学设备。设有电极固定板、上绝缘板、下绝缘板、上电极板阵列、下电极板阵列和分压电阻；所述上绝缘板和下绝缘板分别固定于电极固定板的上下两面并镜向对称安装；在上绝缘板和下绝缘板上沿着带电粒子束飞行方向上电极板阵列和下电极板阵列构成2行电极板，每条电极板之间等距分布排列；上电极板阵列和下电极板阵列上的每条电极板通过分压电阻分压具有不同的电位。不受带电粒子束的位置影响，对距离电极板不同位置的带电粒子均以同一角度偏转；通过调节合适的电参数，就能使带电粒子按照预定的轨迹到达指定位置；从根本上解决了粒子束角发散的问题。