提供了一种使用硅污染减少系统(SPRS)来处理排气流或废气流的方法和设备以通过气体稳定化来除去至少一种不期望的物质而清洁排气流或废气流从而允许经清洁的气体流直接排放到大气中。该设备包括用于依次处理排气流或废气流的至少三个处理站，其中至少一个处理站是含有成核液体或沉淀液体的湿式反应器，其用于除去作为固体的不期望的物质并且用于氧化已从其中除去不期望的物质的残留气体流，并且至少一个处理站是或具有用于压缩被处理的气体流的气体压缩阶段或部件。该方法和设备的优点是经处理的气体流具有减少量的污染物可直接排放到大气中。