一种用于清除静电吸盘表面异物的吹扫装置，包括中间段喷管、顶部喷管、开口度调整螺栓、根部喷管和氮气进口管路等，氮气进口管路把氮气引入到缝式开口内，引入的氮气对静电吸盘上表面进行垂直吹扫，因为中间段喷管直径大于根部喷管和顶部喷管的直径，能使吹扫的氮气在静电吸盘上表面建立一个压力梯度，中心点的压力高，四周的压力低，以保证静电吸盘上表面的污染物能全部被吹扫干净；开口度调整螺栓起到调整中间段喷管开口度的作用，可以建立更大梯度的气流压力，以在各种污染程度下都能保证静电吸盘上表面的清洁度。所以该发明能避免出现静电吸盘的负压报警问题，且操作方便，提高了静电吸盘的作业效率。