发明公开
CN103968997A 一种SOI微型皮拉尼计及其制作方法
失效 - 权利终止
- 专利标题: 一种SOI微型皮拉尼计及其制作方法
- 专利标题(英): SOI mini-type Pirani gage and manufacturing method thereof
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申请号: CN201410153557.9申请日: 2014-04-17
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公开(公告)号: CN103968997A公开(公告)日: 2014-08-06
- 发明人: 苑伟政 , 王伟康 , 任森 , 孙小东 , 陈旭辉
- 申请人: 西北工业大学
- 申请人地址: 陕西省西安市友谊西路127号
- 专利权人: 西北工业大学
- 当前专利权人: 西北工业大学
- 当前专利权人地址: 陕西省西安市友谊西路127号
- 代理机构: 西北工业大学专利中心
- 代理商 吕湘连
- 主分类号: G01L21/12
- IPC分类号: G01L21/12 ; B81B7/02 ; B81C1/00
摘要:
本发明公开了一种微型皮拉尼计,属于微机电系统封装的真空度检测领域。该皮拉尼计的硅结构在器件层8上制作,主要包括加热和散热两部分结构;加热结构由两根呈周期梯形弯曲的加热体5组成;所述散热结构由三部分组成:侧面两个相互对称的两侧散热体2和一个中间散热体梳齿3;两侧散热体梳齿2、中间散热体梳齿3分别与加热体5相互咬合。有益效果:加热体与锚点有四个连接点,与相同长度的加热体相比,增强了其机械强度;工艺过程中不存在键合、淀积等工艺,避免了加热体由于热膨胀导致的塌陷、折断等问题;散热体除了器件层的结构外,基底同时也作为散热体,且加热体与竖直方向夹角为(2±1)°,有利于散热,从而缩短了皮拉尼计的响应时间。
公开/授权文献
- CN103968997B 一种SOI微型皮拉尼计及其制作方法 公开/授权日:2016-02-03