发明公开
CN103972783A 外控制式的紫外激光功率稳定系统
失效 - 权利终止
- 专利标题: 外控制式的紫外激光功率稳定系统
- 专利标题(英): Outer control ultraviolet laser power stabilizing system
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申请号: CN201410227925.X申请日: 2014-05-27
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公开(公告)号: CN103972783A公开(公告)日: 2014-08-06
- 发明人: 邵晓鹏 , 王琳 , 丁钟奎 , 应承平 , 王恒飞 , 吴斌 , 史学舜 , 刘红元 , 刘玉龙 , 陈坤峰 , 李国超 , 王洪超
- 申请人: 西安电子科技大学 , 中国电子科技集团公司第四十一研究所
- 申请人地址: 陕西省西安市太白南路2号
- 专利权人: 西安电子科技大学,中国电子科技集团公司第四十一研究所
- 当前专利权人: 西安电子科技大学,中国电子科技集团公司第四十一研究所
- 当前专利权人地址: 陕西省西安市太白南路2号
- 代理机构: 陕西电子工业专利中心
- 代理商 王品华; 朱红星
- 主分类号: H01S3/13
- IPC分类号: H01S3/13
摘要:
本发明公开了一种外控制式的紫外激光功率稳定系统,主要解决现有激光功率稳定系统稳定性低的问题。其包括紫外激光光源系统(1)、紫外环境控制室(2)、电光调制器(22)、取样器(26)、光学斩波器(3)、滤光片(4)、光电前放模块(5)、反馈控制模块(6)、电光调制驱动器(7)和激光光功率检测器(8);紫外激光光源系统输出功率待稳定的紫外激光,并通过电光调制器、取样器、斩波器和滤光片后垂直照射到光电探测器上产生电信号;该电信号通过反馈控制模块产生反馈信号,以控制电光调制驱动器调节电光调制器稳定紫外激光的光功率。本发明稳定性高,适用于250nm-400nm波段的紫外激光功率稳定。
公开/授权文献
- CN103972783B 外控制式的紫外激光功率稳定系统 公开/授权日:2017-06-13