外控制式的紫外激光功率稳定系统
摘要:
本发明公开了一种外控制式的紫外激光功率稳定系统,主要解决现有激光功率稳定系统稳定性低的问题。其包括紫外激光光源系统(1)、紫外环境控制室(2)、电光调制器(22)、取样器(26)、光学斩波器(3)、滤光片(4)、光电前放模块(5)、反馈控制模块(6)、电光调制驱动器(7)和激光光功率检测器(8);紫外激光光源系统输出功率待稳定的紫外激光,并通过电光调制器、取样器、斩波器和滤光片后垂直照射到光电探测器上产生电信号;该电信号通过反馈控制模块产生反馈信号,以控制电光调制驱动器调节电光调制器稳定紫外激光的光功率。本发明稳定性高,适用于250nm-400nm波段的紫外激光功率稳定。
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