一种高压钽电解电容器阳极薄膜的热处理方法
Abstract:
本发明公开了一种高压钽电解电容器阳极薄膜的热处理方法,先将多孔金属钽阳极置于在6‰的稀磷酸形成液中,然后将磷酸形成液升温至85℃,形成电压升至100V赋能1小时后取样放入真空干燥箱1小时;将热处理后的样品放入真空管式炉中,抽真空至10-3Pa,对第一阶段的阳极薄膜进行热处理,热处理温度为320℃,热处理时间为2小时;将第一阶段热处理结束后的阳极薄膜置于赋能槽中进行赋能,在85℃磷酸形成液中赋能到设计电压125V,取出样品进行第二阶段热处理,将样品放入真空管式炉中,抽真空至10-3Pa后冲入氮气氛中;在氮气氛中热处理温度为340℃,热处理20分钟后补形成,从而获得漏电流较小的钽电解电容器阳极。
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