用于制备合成石英玻璃的方法
摘要:
本发明涉及一种用于制备合成石英玻璃的方法,其包括:气化作为液体SiO2原料(105)的聚烷基硅氧烷,使SiO2原料蒸气(107)转化为SiO2颗粒,沉积所述SiO2颗粒而形成烟灰体(200),和使烟灰体(200)玻璃化。根据本发明,加热的SiO2原料(105)的气化包括在膨胀室(125)中的喷射阶段,在其中SiO2原料(105)雾化成为细小的微滴,其中所述微滴具有小于5μm的平均直径,并且微滴的雾化在预热的载体气体流中进行,所述载体气体流具有超过180℃的温度。
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