基于应力刚化原理的刚度频率可调二维微动平台
Abstract:
本发明涉及精密二维运动场合,可用于通用XY运动平台的精密位移补偿,本发明具体涉及基于应力刚化原理的刚度频率可调二维微动平台,包括X向与Y向运动子平台及对应驱动器、微动工作平台,利用通过螺钉调节张紧力的薄膜组作为柔性铰链,实现二维微动平台的振动频率的独立调整。本发明采用上述结构,基于预应力膜,频率可调,能根据不同的工况和驱动频率,可在工作前或工作过程中调节微动平台的固有频率,两个进给运动方向正交,避免微动工作台在二维运动时发生耦合。
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