Invention Publication
- Patent Title: 基于应力刚化原理的刚度频率可调二维微动平台
- Patent Title (English): Stiffness frequency adjustable two-dimensional micro-motion platform based on stress stiffening principle
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Application No.: CN201410214646.XApplication Date: 2014-05-20
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Publication No.: CN103990998APublication Date: 2014-08-20
- Inventor: 杨志军 , 白有盾 , 陈新 , 高健 , 杨海东 , 王梦 , 汤晖
- Applicant: 广东工业大学
- Applicant Address: 广东省广州市番禺区大学城外环西路100号
- Assignee: 广东工业大学
- Current Assignee: 佛山市华道超精科技有限公司
- Current Assignee Address: 广东省广州市番禺区大学城外环西路100号
- Agency: 北京品源专利代理有限公司
- Agent 孟金喆; 邓猛烈
- Main IPC: B23Q5/34
- IPC: B23Q5/34

Abstract:
本发明涉及精密二维运动场合,可用于通用XY运动平台的精密位移补偿,本发明具体涉及基于应力刚化原理的刚度频率可调二维微动平台,包括X向与Y向运动子平台及对应驱动器、微动工作平台,利用通过螺钉调节张紧力的薄膜组作为柔性铰链,实现二维微动平台的振动频率的独立调整。本发明采用上述结构,基于预应力膜,频率可调,能根据不同的工况和驱动频率,可在工作前或工作过程中调节微动平台的固有频率,两个进给运动方向正交,避免微动工作台在二维运动时发生耦合。
Public/Granted literature
- CN103990998B 基于应力刚化原理的刚度频率可调二维微动平台 Public/Granted day:2017-01-25
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