本发明为处理装置及护罩，提供一种有利于提高对围住基板的护罩的变形的容许度的技术。处理装置具备基板保持部、当由上述基板保持部将基板保持时围在该基板的周围进行配置的护罩，和由磁力保持上述护罩的护罩保持部。上述护罩具有多个第1磁铁和多个第2磁铁，该第1磁铁朝着上述护罩保持部配置具有第1极性的磁极，该第2磁铁朝着上述护罩保持部配置具有第2极性的磁极，上述多个第1磁铁与上述多个第2磁铁配置在相对于上述护罩的中心对称的位置，上述护罩保持部具有多个第3磁铁和多个第4磁铁，该第3磁铁朝着上述护罩配置具有上述第1极性的磁极，以便与上述多个第2磁铁间产生吸引力；该第4磁铁朝着上述护罩配置具有上述第2极性的磁极，以便与上述多个第1磁铁间产生吸引力。