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发明授权
CN104004997B 圆筒状蒸发源 有权 转让

圆筒状蒸发源
摘要：
本发明涉及一种圆筒状蒸发源（1），所述蒸发源在圆筒外壁（2）处包括待蒸发的靶材（3）以及第一磁场源（401）和第二磁场源（402），所述第一磁场源和所述第二磁场源形成磁体系统（400）的至少一部分并且被布置在用于产生磁场的圆筒状蒸发源（1）的内部中。在这一方面，第一磁场源（401）和第二磁场源（402）被设置在载体系统（500）处，从而使得磁场的形状和/或强度能够根据预先定义的计划被设置在预先定义的空间区域中。根据本发明，所述载体系统（500）被构造用于设置所述载体系统（500）的所述磁场的形状和/或强度，从而使得所述第一磁场源（401）被布置在第一载体臂（501）处且能够相对于第一枢转轴线（5011）枢转预先定义的第一枢转角度（α1）。
摘要（英）：

The source (1) has an outer cylinder wall including target material to be evaporated and two magnetic field sources (401, 402), which form a part of a magnet system (400). The magnetic field sources are provided at a carrier system (500) such that shape and strength of the magnetic field is set in accordance with a predefinable scheme in a spatial region. The carrier system sets the shape and strength of the field such that one of the magnetic field sources is arranged at a carrier arm (501) and pivoted by a predefinable pivot angle (alpha 1) with respect to a pivot axis (5011). The magnetic field sources are selected from a group consisting of a permanent magnet, ferrite magnet and an electromagnet. The magnet system forms a balanced magnetron or unbalanced magnetron.

公开/授权文献
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