发明授权
CN104022074B 一种含纳米孔隙的低介电常数复合薄膜的制备方法
失效 - 权利终止
- 专利标题: 一种含纳米孔隙的低介电常数复合薄膜的制备方法
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申请号: CN201410240798.7申请日: 2014-06-02
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公开(公告)号: CN104022074B公开(公告)日: 2017-01-11
- 发明人: 丁士进 , 谭再上 , 范仲勇 , 张卫
- 申请人: 复旦大学
- 申请人地址: 上海市杨浦区邯郸路220号
- 专利权人: 复旦大学
- 当前专利权人: 复旦大学
- 当前专利权人地址: 上海市杨浦区邯郸路220号
- 代理机构: 上海正旦专利代理有限公司
- 代理商 陆飞; 盛志范
- 主分类号: H01L21/768
- IPC分类号: H01L21/768 ; C23C16/44 ; C23C16/513
摘要:
本发明属于集成电路制造技术领域,具体为一种含纳米孔隙的低介电常数复合薄膜的制备方法。本发明以四乙氧基硅烷和双戊烯为前驱体,采用等离子体增强化学气相沉积工艺,通过控制沉积过程中的衬底温度、射频功率、反应腔中工作压强、前驱体配比等工艺参数,沉积得到无机-有机复合薄膜;然后对该薄膜进行适当的热退火处理,使得部分有机组分发生热分解,由此获得含纳米孔隙的低介电常数复合薄膜。该薄膜介电常数为2.5~2.9,在1 MV/cm场强下的漏电流密度处于10-8~10-9 A/cm2数量级范围内,击穿场强大于2 MV/cm,且具有优异的力学性能。该方法操控简单,与现有集成电路后端互连工艺完全兼容,是互连介质的理想候选者。
公开/授权文献
- CN104022074A 一种含纳米孔隙的低介电常数复合薄膜的制备方法 公开/授权日:2014-09-03