发明授权
- 专利标题： 阻气膜和阻气膜的制造方法
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申请号： CN201280053719.0申请日： 2012-10-12
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公开(公告)号： CN104023971B公开(公告)日： 2016-03-16
- 发明人: 永绳智史 , 铃木悠太
- 申请人： 琳得科株式会社
- 申请人地址： 日本东京都
- 专利权人： 琳得科株式会社
- 当前专利权人： 琳得科株式会社
- 当前专利权人地址： 日本东京都
- 代理机构： 北京集佳知识产权代理有限公司
- 代理商 金世煜; 苗堃
- 优先权： 2011-243407 2011.11.07 JP
- 国际申请： PCT/JP2012/076383 2012.10.12
- 国际公布： WO2013/069402 JA 2013.05.16
- 进入国家日期： 2014-04-30
- 主分类号： B32B9/00
- IPC分类号： B32B9/00 ; C23C14/48
摘要：
本发明提供具有优异的阻气性的阻气膜及这种阻气膜的制造方法。即，在基材上形成阻气层而成的阻气膜及这种阻气膜的制造方法，阻气层至少含有氧原子、硅原子、氮原子，将阻气层的与基材相接的面作为基材侧、将其相反面作为表面侧时，从表面侧朝向基材侧包含利用XPS测定而测得的氮量、硅量以及氧量成为以下关系的区域:按氧量＞硅量＞氮量的顺序形成的第1区域、按硅量＞氧量＞氮量的顺序形成的第2区域、按氧量＞硅量＞氮量的顺序形成的第3区域。
公开/授权文献
- CN104023971A 阻气膜和阻气膜的制造方法 公开/授权日：2014-09-03
