Invention Grant

混合射频组件
Abstract:
方法和系统可以提供包括静电致动和压电致动的混合RF MEMS组件设计。在一个示例中,所述方法可以包括施加第一电压以生成第一压电力来减小悬臂与致动电极之间的第一间隙,以及施加第二电压以生成静电力来在悬臂与传输电极之间产生接触。
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