本发明公开了一种高纯度电子级磷酸的生产方法，属于磷化工行业中磷酸生产技术领域。本发明包括向搅拌结晶器加入原料酸，加晶种，搅拌结晶至30~60%，抽真空过滤使得晶、液两相彻底分离后进行洗晶，用夹套热水加热搅拌熔晶，最后调酸制成产品的工序。本发明采用搅拌结晶的方式使磷酸结成沙粒状结晶，提高磷酸与冷却介质的热交换速率，加快结晶的速度；采用抽真空抽过滤的方式使晶、液两相的分离更加彻底、快速，搅拌熔晶也加快了结晶熔融的速度，因此大幅度缩短了电子级磷酸的生产周期，大大提高了生产效率，具有较好的经济效益。