发明公开
- 专利标题: 薄膜晶体管及其制作方法
- 专利标题(英): Thin film transistor and manufacturing method thereof
-
申请号: CN201410250090.X申请日: 2014-06-06
-
公开(公告)号: CN104051541A公开(公告)日: 2014-09-17
- 发明人: 柳冬冬 , 刘胜芳 , 刘雪洲 , 林立
- 申请人: 昆山工研院新型平板显示技术中心有限公司 , 昆山国显光电有限公司
- 申请人地址: 江苏省苏州市昆山市昆山高新区晨丰路188号
- 专利权人: 昆山工研院新型平板显示技术中心有限公司,昆山国显光电有限公司
- 当前专利权人: 昆山工研院新型平板显示技术中心有限公司,昆山国显光电有限公司
- 当前专利权人地址: 江苏省苏州市昆山市昆山高新区晨丰路188号
- 代理机构: 广州华进联合专利商标代理有限公司
- 代理商 唐清凯
- 主分类号: H01L29/786
- IPC分类号: H01L29/786 ; H01L29/08 ; H01L21/336
摘要:
一种薄膜晶体管,通过在铟镓锌氧化物层上形成漏极凹槽和源极凹槽,并在漏极凹槽和源极凹槽的槽壁上形成刻蚀阻挡层,使器件工作时源极漏极电流不受背沟道的影响。由于在铟镓锌氧化物层上形成凹槽,使得源极电极和铟镓锌氧化物层之间的接触面到栅极绝缘层的厚度降低,漏极电极和铟镓锌氧化物层之间的接触面到栅极绝缘层的厚度降低,从而降低了源极漏极串联电阻。本发明还公开了一种薄膜晶体管的制作方法。
公开/授权文献
- CN104051541B 薄膜晶体管及其制作方法 公开/授权日:2017-02-15
IPC分类: