发明公开
CN104066519A 在整料衬底上形成涂层的涂覆装置和方法
失效 - 权利终止
- 专利标题: 在整料衬底上形成涂层的涂覆装置和方法
- 专利标题(英): Coating apparatus and method for forming a coating layer on monolith substrates
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申请号: CN201280066437.4申请日: 2012-11-02
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公开(公告)号: CN104066519A公开(公告)日: 2014-09-24
- 发明人: J·E·克林顿 , C·R·费克特 , 顾云峰
- 申请人: 康宁股份有限公司
- 申请人地址: 美国纽约州
- 专利权人: 康宁股份有限公司
- 当前专利权人: 康宁股份有限公司
- 当前专利权人地址: 美国纽约州
- 代理机构: 上海专利商标事务所有限公司
- 代理商 丁晓峰
- 优先权: 13/293,726 2011.11.10 US
- 国际申请: PCT/US2012/063284 2012.11.02
- 国际公布: WO2013/070519 EN 2013.05.16
- 进入国家日期: 2014-07-08
- 主分类号: B05C7/04
- IPC分类号: B05C7/04 ; B05D7/22 ; B05C3/20 ; B05C5/02
摘要:
一种涂覆装置,包括用于在涂层涂敷到整料衬底上时容纳各种形状和大小的整料衬底的模块化接口和衬底接收器。整料衬底由可弹性变形套管侧向围绕,该可弹性变形套管防止真空在真空施加到整料衬底的两相反端时从整料衬底侧漏出去,从而免除对庞大真空室的需要。涂覆装置还包括使多余的前体液能从整料通道就地排出而不使用额外的旋干步骤的阀门和控制装置。提供了用于使用涂覆装置的涂覆方法。
公开/授权文献
- CN104066519B 在整料衬底上形成涂层的涂覆装置和方法 公开/授权日:2017-08-08