在整料衬底上形成涂层的涂覆装置和方法
摘要:
一种涂覆装置,包括用于在涂层涂敷到整料衬底上时容纳各种形状和大小的整料衬底的模块化接口和衬底接收器。整料衬底由可弹性变形套管侧向围绕,该可弹性变形套管防止真空在真空施加到整料衬底的两相反端时从整料衬底侧漏出去,从而免除对庞大真空室的需要。涂覆装置还包括使多余的前体液能从整料通道就地排出而不使用额外的旋干步骤的阀门和控制装置。提供了用于使用涂覆装置的涂覆方法。
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