发明授权
- 专利标题: 双重图形化鳍式晶体管的鳍结构制造方法
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申请号: CN201410339132.7申请日: 2014-07-16
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公开(公告)号: CN104078366B公开(公告)日: 2018-01-26
- 发明人: 易春艳 , 李铭
- 申请人: 上海集成电路研发中心有限公司
- 申请人地址: 上海市浦东新区张江高斯路497号
- 专利权人: 上海集成电路研发中心有限公司
- 当前专利权人: 上海集成电路研发中心有限公司
- 当前专利权人地址: 上海市浦东新区张江高斯路497号
- 代理机构: 上海天辰知识产权代理事务所
- 代理商 吴世华; 林彦之
- 主分类号: H01L21/336
- IPC分类号: H01L21/336
摘要:
本发明公开了一种双重图形化鳍式晶体管的鳍结构制造方法,采用部分刻蚀法,即第二非晶碳层刻蚀厚度大约在二分之一到四分之三左右,之后淀积二氧化硅薄膜并刻蚀形成二氧化硅侧壁隔离硬掩模图形,然后利用干法刻蚀去除核心牺牲层图形顶部的无氮抗反射层,使其下方的非晶碳暴露出来,最后利用等离子干法刻蚀工艺将暴露出来的第二非晶碳层去除,形成以二氧化硅侧墙及其下方的非晶碳组成的硬掩模线条。本发明避免了现有方法所产生的形貌和关键尺寸控制问题,从而扩大了后续图形化工艺窗口,更有利于鱼鳍结构的关键尺寸和形貌的控制。
公开/授权文献
- CN104078366A 双重图形化鳍式晶体管的鳍结构制造方法 公开/授权日:2014-10-01
IPC分类: