通过外加纵向电场控制ZnO生长形貌的方法及其装置
摘要:
一种通过外加纵向电场控制ZnO生长形貌的方法:取纯度大于99.9%的锌源,称重后将锌源放入石英舟内,在锌源的下游方向0.5-4cm处设置上金属片和下金属片,外加电压为5-50V,将清洗干净的衬底放置到下金属片上,向石英舟所在的石英管中通入载气氩气和反应气体氧气,石英管内的压力控制在10万Pa以下,氩气流量控制在10-1000ml/min,氧气流量控制在1-500ml/min,生长温度控制在400-1000℃,生长时间为10-60min,生长完成后,关闭氧气,保持10-1000ml/min的流量继续通入氩气,当石英管内的温度降到室温后,取出生长出ZnO材料的衬底。这是一种能够对ZnO的生长形貌进行控制,以获得高效、稳定紫外发光器件的方法,以及该种方法所应用的装置。
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