发明授权
- 专利标题: 吸附式硅片涂布旋转台
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申请号: CN201410350810.X申请日: 2014-07-23
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公开(公告)号: CN104096662B公开(公告)日: 2017-06-23
- 发明人: 袁国防
- 申请人: 青岛海之源智能技术有限公司
- 申请人地址: 山东省青岛市胶州市广州南路167号海邦花园小区2号楼办公单元5层
- 专利权人: 青岛海之源智能技术有限公司
- 当前专利权人: 永春县产品质量检验所(福建省香产品质量检验中心、国家燃香类产品质量监督检验中心(福建))
- 当前专利权人地址: 山东省青岛市胶州市广州南路167号海邦花园小区2号楼办公单元5层
- 代理机构: 济南诚智商标专利事务所有限公司
- 代理商 王汝银
- 主分类号: B05C13/02
- IPC分类号: B05C13/02
摘要:
一种吸附式硅片涂布旋转台,包括台面,其特征在于,在所述台面上设置有与其同心的,且呈阶梯状径向排列的圆环台,在所述台面的边缘设置有向圆心延伸的开口;在所述开口的末端设置有与最内侧的所述圆环台等高的挡板,所述挡板的两端与最内侧的所述圆环台连接,在所述挡板上设置有缺口。本发明通过在台面上设置圆环台,解决了操作人员在放置硅片时与台面不同心的问题,在台面边缘设置开口方便硅片放取;本发明结构简单,不仅实现了可以放置不同直径的硅片,而且成本比夹持式旋转设备底,且不容易损坏。
公开/授权文献
- CN104096662A 吸附式硅片涂布旋转台 公开/授权日:2014-10-15