吸附式硅片涂布旋转台
摘要:
一种吸附式硅片涂布旋转台,包括台面,其特征在于,在所述台面上设置有与其同心的,且呈阶梯状径向排列的圆环台,在所述台面的边缘设置有向圆心延伸的开口;在所述开口的末端设置有与最内侧的所述圆环台等高的挡板,所述挡板的两端与最内侧的所述圆环台连接,在所述挡板上设置有缺口。本发明通过在台面上设置圆环台,解决了操作人员在放置硅片时与台面不同心的问题,在台面边缘设置开口方便硅片放取;本发明结构简单,不仅实现了可以放置不同直径的硅片,而且成本比夹持式旋转设备底,且不容易损坏。
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