发明授权
- 专利标题: 形成用于图像传感器的双尺寸微透镜的方法
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申请号: CN201310589075.3申请日: 2013-11-20
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公开(公告)号: CN104103653B公开(公告)日: 2017-03-01
- 发明人: 李津 , 陈刚 , 钱胤 , 戴森·幸志·戴
- 申请人: 豪威科技股份有限公司
- 申请人地址: 美国加利福尼亚州
- 专利权人: 豪威科技股份有限公司
- 当前专利权人: 豪威科技股份有限公司
- 当前专利权人地址: 美国加利福尼亚州
- 代理机构: 北京律盟知识产权代理有限责任公司
- 代理商 齐杨
- 优先权: 13/860,859 2013.04.11 US
- 主分类号: H01L27/146
- IPC分类号: H01L27/146
摘要:
本发明涉及一种形成用于图像传感器的双尺寸微透镜的方法。揭示一种形成用于具有至少一个大面积像素及至少一个小面积像素的图像传感器的微透镜的方法。所述方法包含在所述图像传感器的光入射侧上于所述大面积像素上方及所述小面积像素上方形成均匀微透镜材料层。所述方法还包含将所述微透镜材料层形成为安置于所述大面积像素上方的第一块及安置于所述小面积像素上方的第二块。还在所述第二块中形成空隙以减小所述第二块中所包含的微透镜材料的体积。接着,使所述第一及第二块回流以形成相应的第一微透镜及第二微透镜。所述第一微透镜具有与所述第二微透镜实质上相同的有效焦距。
公开/授权文献
- CN104103653A 形成用于图像传感器的双尺寸微透镜的方法 公开/授权日:2014-10-15