本发明公开了一种六氟化硫电气设备绝缘故障监测方法、装置及设备，其中，该方法包括：监测六氟化硫电气设备中产生的杂质气体的含量，其中，杂质气体为六氟化硫电气设备运行中产生的影响六氟化硫气体纯度的气体；判断预定时间段内杂质气体的含量的变化量是否超过预设变化量；如果是，则确定六氟化硫电气设备内存在绝缘故障。通过运用本发明，解决了相关技术中仅通过检测H2S和SO2的气体含量无法全面地监测六氟化硫电气设备的运行状况，无法确定设备是否存在绝缘故障的问题，进而可以有效的判断绝缘故障的存在，防止造成设备损坏。