发明授权
- 专利标题: 一种硅芯母料的制备方法
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申请号: CN201410382967.0申请日: 2014-08-06
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公开(公告)号: CN104118879B公开(公告)日: 2016-06-22
- 发明人: 李川 , 冯德志 , 余昭辉 , 甘居富 , 李斌
- 申请人: 四川永祥多晶硅有限公司
- 申请人地址: 四川省乐山市五通桥区竹根镇永祥路100号
- 专利权人: 四川永祥多晶硅有限公司
- 当前专利权人: 四川永祥多晶硅有限公司
- 当前专利权人地址: 四川省乐山市五通桥区竹根镇永祥路100号
- 代理机构: 成都天嘉专利事务所
- 代理商 邹翠
- 主分类号: C01B33/035
- IPC分类号: C01B33/035
摘要:
本发明提供一种硅芯母料的制备方法,包括将三氯氢硅气体和氢气通入还原炉中反应制备多晶硅棒产品料,然后从多晶硅棒产品料中选择出直径为110-130mm的符合硅芯母料要求的多晶硅棒,切割成拉制硅芯所需要的长度,洁净处理后得硅芯母料。采用本发明生产硅芯母料能减少还原用氢气的用量,可有效降低生产硅芯母料的能耗,从而降低生产成本。
公开/授权文献
- CN104118879A 一种硅芯母料的制备方法 公开/授权日:2014-10-29
IPC分类: