一种硅芯母料的制备方法
摘要:
本发明提供一种硅芯母料的制备方法,包括将三氯氢硅气体和氢气通入还原炉中反应制备多晶硅棒产品料,然后从多晶硅棒产品料中选择出直径为110-130mm的符合硅芯母料要求的多晶硅棒,切割成拉制硅芯所需要的长度,洁净处理后得硅芯母料。采用本发明生产硅芯母料能减少还原用氢气的用量,可有效降低生产硅芯母料的能耗,从而降低生产成本。
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