发明公开
- 专利标题: 鳍式双极结型晶体管及其形成方法
- 专利标题(英): Finned bipolar junction transistor and manufacturing method thereof
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申请号: CN201310156946.2申请日: 2013-04-28
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公开(公告)号: CN104124152A公开(公告)日: 2014-10-29
- 发明人: 黄新运 , 李勇 , 陶佳佳 , 张帅 , 居建华
- 申请人: 中芯国际集成电路制造(上海)有限公司
- 申请人地址: 上海市浦东新区张江路18号
- 专利权人: 中芯国际集成电路制造(上海)有限公司
- 当前专利权人: 中芯国际集成电路制造(上海)有限公司
- 当前专利权人地址: 上海市浦东新区张江路18号
- 代理机构: 北京集佳知识产权代理有限公司
- 代理商 骆苏华
- 主分类号: H01L21/331
- IPC分类号: H01L21/331 ; H01L29/73 ; H01L29/08 ; H01L29/10
摘要:
一种鳍式双极结型晶体管及其形成方法,所述鳍式双极结型晶体管包括:基底;位于所述基底上的鳍部,所述鳍部为基区;所述鳍部包括相互隔开的第一区和第二区;位于所述第一区上的集电区;位于所述第二区上的发射区。由本发明提供的方法形成的鳍式双极结型晶体管,基区与发射区之间形成的PN结具有较大的面积,该PN结面积可调,且可调范围很大。
公开/授权文献
- CN104124152B 鳍式双极结型晶体管及其形成方法 公开/授权日:2016-12-28
IPC分类: