臭氧产生机构以及臭氧产生方法
摘要:
本发明的臭氧产生机构具备具有形成放电空间(305)的放电电极(30)的臭氧产生装置(3)、气体供给装置(1)、向放电电极(30)供给功率的电源装置、调节放电电极(30)的温度的温度调节装置(7)、控制臭氧产生装置(3)的运转的控制部(4)、检测臭氧产生装置(3)中的臭氧产生参数(Di)的检测部(25),控制部(4)根据从检测部(25)输出的臭氧产生参数(Di)的值,从通常的运转模式向洁净化运转模式转移,在该洁净化运转模式中,联合控制温度调节装置(7)和气体供给装置(1)或者温度调节装置(7)和电源装置,使放电电极(30)的温度上升到使五氧化二氮气化的温度,并使在放电空间(305)中的臭氧的产生继续的状态下,将放电电极(30)表面以及放电空间(305)洁净化。
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