一种微流量精确控制装置，包括接头组件(1)、孔板(2)、端盖板(3)、温控组件(4)；所述的孔板(2)为圆盘形状，圆盘表面加工若干小孔，小孔之间通过刻蚀形成通道，端盖板(3)为中心设置小孔的圆盘形状，两个端盖板(3)焊接在孔板(2)的圆盘两侧，端盖板(3)的中心孔与孔板(2)上位于中心的小孔连通，孔板(2)上的小孔从中间小孔开始通过刻蚀的通道一一串联，最终通向中间小孔；两个接头组件(1)分别与上述两个端盖板(3)连接；温控组件(4)包括加热器和测温传感器，加热器和测温传感器封装在一个环形的壳体内，二者之间填充绝缘材料；两个温控组件分别安装在两个端盖板(3)的两侧。