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光量调节机构
摘要:
本发明提供一种进行光衰减率的变更并防止在具有规定的束直径的光束内径向观察的透射率产生差别的光量调节机构,具有:形成平坦的入射面且透射率在入射面的方向观察时连续变化的入射侧滤光器部件(11);以及形成平坦的出射面并具有与入射侧滤光器部件(11)相等的光学浓度斜率的出射侧滤光器部件(12),在入射侧滤光器部件(11)中,以对于从入射面射入的光束的透射率连续变化的方向为位置调节方向(P),出射侧滤光器部件(12)的透射率减小方向与入射侧滤光器部件(11)的透射率减小的方向相反,且出射侧滤光器部件(12)沿位置调节方向(P)与入射侧滤光器部件(11)并列并进行与入射侧滤光器部件(11)间的沿位置调节方向(P)的相对移动。
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