本发明揭示了一种超低氮钢RH处理装置的防增氮控制方法，包括：A.RH处理装置制作阶段：在浸渍管外侧耐材上端焊接一圈防渗直角钢板，防渗直角钢板一端与耐材内的钢胆连接固定，并钢胆底部延长至与耐材底部持平；B.RH处理阶段：处理开始时降低环流气流量，并在最后一级增压泵开出前完成温度调节；在最后一级增压泵开出后，提高环流气流量；在最后一级增压泵开出到RH处理结束，控制高真空度≤0.266Kpa，且保持时间≥20min；C.维护阶段：对浸渍管的耐材表面进行喷补维护。本发明能消除RH处理过程中增氮现象的发生，并且通过对RH处理操作模式进行优化、以及通过浸渍管的热态维护优化，来更加有效地避免增氮现象的发生。