本发明提供一种背照式CMOS图像传感器及其形成方法，所述背照式CMOS图像传感器包含：一第一保护层设于一光二极管阵列上；一氧化物格栅设于第一保护层上，并形成多个暴露第一保护层的孔洞；一彩色滤光片阵列，包含多个彩色滤光片并填入所述多个孔洞中，其中氧化物格栅的折射率小于这些彩色滤光片的折射率；一金属格栅，对齐于这些氧化物格栅，其中金属格栅的消光系数大于0。本发明不但可减少相邻像素单元之间的光串音问题，且可增加入射光入射至光二极管的强度，因而可更提升BSI CMOS图像传感器的效能及量子效率。