加压输送容器、使用了其的保管方法以及移液方法
摘要:
本发明提供一种即使在长时间保管保护膜形成用化学溶液、用于配制该化学溶液的保护膜形成用化学溶液组合试剂后,也能够确保该化学溶液或该化学溶液组合试剂等液体的洁净性,且能够抑制该液体的带电的加压输送容器、使用了其的保管方法以及移液方法。一种加压输送容器,其特征在于,其为以保管保护膜形成用化学溶液或保护膜形成用化学溶液组合试剂、且能够通过对内部进行加压来移液的方式构成的加压输送容器,所述保护膜形成用化学溶液用于在表面具有凹凸图案且该凹凸图案的至少一部分包含硅元素的晶圆的该凹凸图案的至少凹部表面形成拒水性保护膜,所述保护膜形成用化学溶液组合试剂通过混合而形成上述保护膜形成用化学溶液。
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