一种玻璃金属吹制式微型半球谐振陀螺及其制备方法
摘要:
本发明提供了一种玻璃金属吹制式微型半球谐振陀螺及其制备方法,所述陀螺包括:一个长方体硅基底、一个半球壳式中央谐振子和八个半球壳式电极,其中:八个电极环绕中央谐振子均匀分布配置,包含四个驱动电极和四个检测电极,并通过引线连接至引脚处;通过在对应引脚处施加正负电压,驱动电极和检测电极可以实现静电驱动与检测;所述中央谐振子和半球壳式电极采用玻璃金属吹制过程制作。本发明采用MEMS工艺加工,结构简单、体积小、精度较高,极具发展前景。
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