- 专利标题: 一种玻璃金属吹制式微型半球谐振陀螺及其制备方法
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申请号: CN201410390482.6申请日: 2014-08-08
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公开(公告)号: CN104197913B公开(公告)日: 2017-09-08
- 发明人: 张卫平 , 刘亚东 , 唐健 , 汪濙海 , 成宇翔 , 孙殿竣 , 陈文元
- 申请人: 上海交通大学
- 申请人地址: 上海市闵行区东川路800号
- 专利权人: 上海交通大学
- 当前专利权人: 上海交通大学
- 当前专利权人地址: 上海市闵行区东川路800号
- 代理机构: 上海汉声知识产权代理有限公司
- 代理商 徐红银; 郭国中
- 主分类号: G01C19/56
- IPC分类号: G01C19/56
摘要:
本发明提供了一种玻璃金属吹制式微型半球谐振陀螺及其制备方法,所述陀螺包括:一个长方体硅基底、一个半球壳式中央谐振子和八个半球壳式电极,其中:八个电极环绕中央谐振子均匀分布配置,包含四个驱动电极和四个检测电极,并通过引线连接至引脚处;通过在对应引脚处施加正负电压,驱动电极和检测电极可以实现静电驱动与检测;所述中央谐振子和半球壳式电极采用玻璃金属吹制过程制作。本发明采用MEMS工艺加工,结构简单、体积小、精度较高,极具发展前景。
公开/授权文献
- CN104197913A 一种玻璃金属吹制式微型半球谐振陀螺及其制备方法 公开/授权日:2014-12-10