发明公开
- 专利标题: 电容型动态量传感器及其制造方法
- 专利标题(英): Capacitance-type dynamic-quantity sensor and manufacturing method therefor
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申请号: CN201410332460.4申请日: 2004-05-21
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公开(公告)号: CN104198761A公开(公告)日: 2014-12-10
- 发明人: 加藤健二 , 须藤稔 , 枪田光男
- 申请人: 精工电子有限公司
- 申请人地址: 日本千叶县千叶市
- 专利权人: 精工电子有限公司
- 当前专利权人: 精工半导体有限公司
- 当前专利权人地址: 日本千叶县千叶市
- 代理机构: 中国专利代理(香港)有限公司
- 代理商 付曼; 姜甜
- 优先权: 144997/03 2003.05.22 JP
- 分案原申请号: 2004100457155 2004.05.21
- 主分类号: G01P15/125
- IPC分类号: G01P15/125 ; G01D5/24
摘要:
提供了一种电容型动态量传感器,其能减小检测灵敏度的变化,没有其电极脱落或断开,并且在可靠性上极佳;并提供了其制造方法。在所述电容型动态量传感器中,其中要形成振荡器的半导体基片从其前后侧以高精度被加工以限定振荡器与电极待被叠放于其每个上的平的上部玻璃基片和下部玻璃基片之间的微小间距,由此减小检测灵敏度的变化并抑制其电极脱落和断开。