发明授权
- 专利标题: 一种长焦深光子筛
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申请号: CN201410479804.4申请日: 2014-09-18
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公开(公告)号: CN104199136B公开(公告)日: 2016-08-24
- 发明人: 严伟 , 何渝 , 李艳丽 , 唐燕 , 高洪涛 , 胡松
- 申请人: 中国科学院光电技术研究所
- 申请人地址: 四川省成都市双流350信箱
- 专利权人: 中国科学院光电技术研究所
- 当前专利权人: 山东恒瑞磁电科技有限公司
- 当前专利权人地址: 四川省成都市双流350信箱
- 代理机构: 北京科迪生专利代理有限责任公司
- 代理商 杨学明; 顾炜
- 主分类号: G02B5/18
- IPC分类号: G02B5/18
摘要:
本发明公开了一种长焦深光子筛,实现光子筛较长焦深的方法。该光子筛包括透光衬底和镀在该透光衬底上的不透光金属薄膜,所述不透光金属薄膜上分布有多个透光圆孔,该透光圆孔呈环带状分布,分布原则为rn2=2nfnλ+n2λ2,其中rn为环带半径,n为圆孔所在环带的环数,最内环为第一环,n∈{1,2,…,Max},Max为最大环带数;fn为第n环所对应的焦距;λ为波长。其中对应rn上的透光孔的直径为其中dn为透光孔的直径;wn为环带宽度;λ为波长;fn为第n环所对应的焦距;rn为环带半径。本发明突破原有固定焦点设计的思想,在不影响分辨力的情况下,采用光子筛环形分区设计,实现多焦点部分重叠,有效增大焦深,为光子筛直写光刻的实用化奠定基础。
公开/授权文献
- CN104199136A 一种长焦深光子筛 公开/授权日:2014-12-10