Invention Grant
- Patent Title: 利用场与特征对比的TSV浴评估
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Application No.: CN201410268283.8Application Date: 2014-06-16
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Publication No.: CN104233451BPublication Date: 2017-11-24
- Inventor: 里·布罗根 , 史蒂文·T·迈耶 , 马修·托鲁 , 约瑟夫·理查森 , 大卫·W·波特 , 傅海英
- Applicant: 朗姆研究公司
- Applicant Address: 美国加利福尼亚州
- Assignee: 朗姆研究公司
- Current Assignee: 朗姆研究公司
- Current Assignee Address: 美国加利福尼亚州
- Agency: 上海胜康律师事务所
- Agent 李献忠
- Priority: 61/835,418 2013.06.14 US
- Main IPC: C25D21/14
- IPC: C25D21/14 ; C25D7/12 ; H01L21/66 ; H01L21/768
Abstract:
本发明涉及利用场与特征对比的TSV浴评估,本文中的实施方式涉及用于确定特定的测试浴是否能够成功地填充衬底上的特征的方法和装置。在各种情况下,所述衬底是半导体衬底,特征是硅通孔。通常使用两个实验:第一实验模拟填充工艺中存在于衬底的场区中的条件,以及第二实验模拟填充工艺中存在于衬底上的特征的条件。来自这些实验的输出可以与各种技术使用以预测特定浴是否导致充分填充的特征。
Public/Granted literature
- CN104233451A 利用场与特征对比的TSV浴评估 Public/Granted day:2014-12-24
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