陶瓷压力传感器及其生产方法
摘要:
一种生产压力传感器(130)的方法,该压力传感器(130)包括由陶瓷材料制成的平坦柔性膜(100)以及由陶瓷材料制成的该平坦柔性膜(100)的平坦刚性支撑件(110),该方法包括以下步骤:‑在该膜(100)上实现电路(16,18);‑在该支撑件(110)上实现与外侧的电接触;‑将导电材料沉积在该支撑件(110)上;‑实现该膜(100)和该支撑件(110)之间的电耦合和机械耦接;通过至少一个导电可烧结电连接材料层的沉积和烧结来执行膜(100)和支撑件(110)之间的电耦合,通过至少一个可烧结机械连接材料层的沉积和烧结来执行膜(100)和支撑件(110)之间的机械耦接,该可烧结机械连接材料是与该可烧结电连接材料层电绝缘的和/或隔离的,在烧结熔炉中该可烧结电连接材料层和该可烧结机械连接材料层在单个步骤中一起经历回流。
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