发明授权
- 专利标题: 陶瓷压力传感器及其生产方法
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申请号: CN201380016154.3申请日: 2013-03-20
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公开(公告)号: CN104246462B公开(公告)日: 2017-04-26
- 发明人: 阿西尔·科利亚蒂 , 罗伯托·马伊 , 彼得罗·雷戈廖西 , 安吉洛·马里奥·阿达莫·阿尔伯尼科
- 申请人: 麦克罗特尔电子技术股份公司
- 申请人地址: 意大利米兰
- 专利权人: 麦克罗特尔电子技术股份公司
- 当前专利权人: 科莱特微电股份公司
- 当前专利权人地址: 意大利米兰
- 代理机构: 北京品源专利代理有限公司
- 代理商 杨生平; 钟锦舜
- 国际申请: PCT/EP2013/055776 2013.03.20
- 国际公布: WO2013/139832 EN 2013.09.26
- 进入国家日期: 2014-09-23
- 主分类号: G01L9/00
- IPC分类号: G01L9/00 ; G01L19/04 ; G01L19/06
摘要:
一种生产压力传感器(130)的方法,该压力传感器(130)包括由陶瓷材料制成的平坦柔性膜(100)以及由陶瓷材料制成的该平坦柔性膜(100)的平坦刚性支撑件(110),该方法包括以下步骤:‑在该膜(100)上实现电路(16,18);‑在该支撑件(110)上实现与外侧的电接触;‑将导电材料沉积在该支撑件(110)上;‑实现该膜(100)和该支撑件(110)之间的电耦合和机械耦接;通过至少一个导电可烧结电连接材料层的沉积和烧结来执行膜(100)和支撑件(110)之间的电耦合,通过至少一个可烧结机械连接材料层的沉积和烧结来执行膜(100)和支撑件(110)之间的机械耦接,该可烧结机械连接材料是与该可烧结电连接材料层电绝缘的和/或隔离的,在烧结熔炉中该可烧结电连接材料层和该可烧结机械连接材料层在单个步骤中一起经历回流。
公开/授权文献
- CN104246462A 陶瓷压力传感器及其生产方法 公开/授权日:2014-12-24