发明授权
- 专利标题: 具有馈通结构的基板支撑件
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申请号: CN201380016546.X申请日: 2013-03-19
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公开(公告)号: CN104247001B公开(公告)日: 2017-06-06
- 发明人: 利昂·沃尔福夫斯基 , 马尤尔·G·库尔卡尼
- 申请人: 应用材料公司
- 申请人地址: 美国加利福尼亚州
- 专利权人: 应用材料公司
- 当前专利权人: 应用材料公司
- 当前专利权人地址: 美国加利福尼亚州
- 代理机构: 北京律诚同业知识产权代理有限公司
- 代理商 徐金国; 赵静
- 优先权: 61/617,946 20120330 US 13/845,492 20130318 US
- 国际申请: PCT/US2013/032874 2013.03.19
- 国际公布: WO2013/148406 EN 2013.10.03
- 进入国家日期: 2014-09-25
- 主分类号: H01L21/683
- IPC分类号: H01L21/683 ; B23Q3/15 ; H02N13/00
摘要:
在此提供用于提供电流的设备与利用此设备的基板支撑件。在一些实施例中,一种馈通结构可包括:主体,所述主体具有界定一或更多个开口的壁,所述一或更多个开口设置成从第一端穿过所述主体至第二端;一或更多个第一导体与一或更多个第二导体,每个第一导体和第二导体设置在所述壁中而从所述第一端至所述第二端;及多个导电网筛,所述多个导电网筛设置在所述壁中,至少一个导电网筛围绕所述壁的第一区域,所述壁的所述第一区域包括所述一或更多个第一导体,且至少一个导电网筛围绕所述壁的第二区域,所述壁的所述第二区域包括所述一或更多个第二导体,其中多个导电网筛使所述第一区域和所述第二区域与设置在所述第一区域和所述第二区域外面的分别的第一外部电磁场和第二外部电磁场分别实质上电气绝缘。
公开/授权文献
- CN104247001A 具有馈通结构的基板支撑件 公开/授权日:2014-12-24
IPC分类: