发明授权
- 专利标题: 阻变存储器件及其制造方法
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申请号: CN201310547348.8申请日: 2013-11-06
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公开(公告)号: CN104282833B公开(公告)日: 2018-07-31
- 发明人: 郑夏彰 , 李基娥
- 申请人: 爱思开海力士有限公司
- 申请人地址: 韩国京畿道
- 专利权人: 爱思开海力士有限公司
- 当前专利权人: 觅蜜IP有限责任公司
- 当前专利权人地址: 美国德克萨斯州
- 代理机构: 北京弘权知识产权代理事务所
- 代理商 俞波; 周晓雨
- 优先权: 10-2013-0081559 2013.07.11 KR
- 主分类号: H01L45/00
- IPC分类号: H01L45/00 ; H01L27/24 ; G11C13/00
摘要:
提供了种阻变存储器件及其制造方法。所述阻变存储器件包括:多层式绝缘层,包括形成在半导体衬底上的多个孔;下电极,形成在每个孔的底部;第间隔件,形成在下电极和每个孔的侧壁上;第二间隔件,形成在第间隔件的上侧壁上;第三间隔件,在第二间隔件之下形成在第间隔件的下侧壁上;阻变部,形成在下电极上,具有比每个孔的顶部的高度低的高度;以及上电极,形成在阻变部上以掩埋在每个孔中。
公开/授权文献
- CN104282833A 阻变存储器件及其制造方法 公开/授权日:2015-01-14
IPC分类: