发明公开

一种曝光系统及曝光方法
摘要:
本发明提供了一种曝光系统及曝光方法,其中曝光系统包括:发光面板,发光面板包括矩阵式排布的多个发光单元,每个发光单元包括发光层;用于驱动发光面板待发光区域内的发光单元进行发光的驱动模块,待发光区域具有的图形与待形成图形的形状相同;用于将发光面板发出的光转变为平行光的第一透镜;用于对经过第一透镜的光进行过滤,选择透过进行曝光需要的波长的光的滤镜。本发明的技术方案仅通过控制不同区域内的发光单元发光,就能够实现制作不同图形所需的不同区域的曝光,节省了实体的石英掩膜版,从而降低了光刻工艺的成本。
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