发明公开
CN104298079A 一种曝光系统及曝光方法
失效 - 权利终止
- 专利标题: 一种曝光系统及曝光方法
- 专利标题(英): Exposure system and exposure method
-
申请号: CN201410555531.7申请日: 2014-10-17
-
公开(公告)号: CN104298079A公开(公告)日: 2015-01-21
- 发明人: 张逵
- 申请人: 京东方科技集团股份有限公司 , 北京京东方显示技术有限公司
- 申请人地址: 北京市朝阳区酒仙桥路10号
- 专利权人: 京东方科技集团股份有限公司,北京京东方显示技术有限公司
- 当前专利权人: 京东方科技集团股份有限公司,北京京东方显示技术有限公司
- 当前专利权人地址: 北京市朝阳区酒仙桥路10号
- 代理机构: 北京中博世达专利商标代理有限公司
- 代理商 申健
- 主分类号: G03F7/20
- IPC分类号: G03F7/20
摘要:
本发明提供了一种曝光系统及曝光方法,其中曝光系统包括:发光面板,发光面板包括矩阵式排布的多个发光单元,每个发光单元包括发光层;用于驱动发光面板待发光区域内的发光单元进行发光的驱动模块,待发光区域具有的图形与待形成图形的形状相同;用于将发光面板发出的光转变为平行光的第一透镜;用于对经过第一透镜的光进行过滤,选择透过进行曝光需要的波长的光的滤镜。本发明的技术方案仅通过控制不同区域内的发光单元发光,就能够实现制作不同图形所需的不同区域的曝光,节省了实体的石英掩膜版,从而降低了光刻工艺的成本。
公开/授权文献
- CN104298079B 一种曝光系统及曝光方法 公开/授权日:2016-11-30
IPC分类: