流化床反应器设备用的高温级钢
摘要:
本发明公开了一种用在加热过的硅沉积反应器中的反应室衬管的实施方案。所述衬管具有:上部;中部,所述中部包含不同于不锈钢合金的材料;以及下部,所述下部包含马氏体不锈钢合金。所述衬管的上部的组成与所述下部的基本类似。
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