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双偏心调整光路装置
摘要:
本发明公开了一种双偏心调整光路装置,用于在光点扫描和共焦扫描测量等领域中形成扫描光束。由内外两个带有偏心孔的非透明的圆盘和透镜组成,内盘安装于外盘的偏心孔中,内盘直径与偏心孔直径相同;透镜安装在内盘的偏心孔上,透镜直径与内偏心孔相同,形成双偏心结构。内外盘绕各自中心自由转动。通过改变两圆盘的转动角度,改变透镜在空间平面上的位置,用大直径(大于透镜口径,小于外盘直径)光束入射到圆盘上,就能根据透镜位置连续变化形成扫描光束。其结构紧凑,与传统的光路结合性好,而且通光量固定,能保持形成的光点能量和形状一致性,适用于各种光波长的扫描。
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