发明公开
- 专利标题: 一种取向膜检测机
- 专利标题(英): Alignment layer detection machine
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申请号: CN201410567589.3申请日: 2014-10-22
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公开(公告)号: CN104317077A公开(公告)日: 2015-01-28
- 发明人: 井杨坤 , 陈传辉 , 顾二兴 , 姚利利
- 申请人: 合肥京东方光电科技有限公司 , 京东方科技集团股份有限公司
- 申请人地址: 安徽省合肥市新站区铜陵北路2177号
- 专利权人: 合肥京东方光电科技有限公司,京东方科技集团股份有限公司
- 当前专利权人: 合肥京东方光电科技有限公司,京东方科技集团股份有限公司
- 当前专利权人地址: 安徽省合肥市新站区铜陵北路2177号
- 代理机构: 北京天昊联合知识产权代理有限公司
- 代理商 柴亮; 张天舒
- 主分类号: G02F1/13
- IPC分类号: G02F1/13 ; G02F1/1337
摘要:
本发明涉及一种取向膜检测机,用于检测取向膜上的沟槽是否缺陷,其包括蒸汽供给机构及可密封的腔室;所述蒸汽供给机构用于向所述腔室中输入蒸汽;所述腔室用于在其内部放置设有需要检测的取向膜的基板;所述腔室的至少一部分腔壁为透明壁。上述取向膜检测机检测取向膜的沟槽是否存在缺陷时将基板放置在腔室中,提高了基板及取向膜表面各处的水珠微粒形成的速度,并使基板及取向膜表面各处的水珠微粒的厚度均匀,从而可以减少检测所需的时间,以及使检测效率检测结果的准确性提高;还可以采用机器视觉检测机构进行检测,从而可以进一步提高检测效率及检测结果的可信度。
公开/授权文献
- CN104317077B 一种取向膜检测机 公开/授权日:2017-08-25