可变流孔型压力控制式流量控制器
摘要:
可变流孔型压力控制式流量控制器具备压力控制部和可变流孔部,使流通于可变流孔部的流孔的流体的流量为QP1=KP1(但是,P1是流孔上游侧压力,K是常数)而运算,并且,使前述流孔为由直接碰触型金属隔膜阀的阀座与隔膜之间的环状的间隙构成的流孔,通过向前述压力控制部的流量运算控制部的设定流量信号(QS)和向可变流孔部的流孔开度运算控制部的流孔开度设定信号(Qz)的变更而进行流量控制范围的切换以及该流量控制范围中的流量控制,其中,由流孔开度运算控制部、通过来自流孔开度运算控制部的流孔控制信号而驱动的步进电动机、通过步进电动机而转动的偏芯凸轮、通过偏芯凸轮而经由隔膜压件来控制阀开度的直接碰触型金属隔膜阀构成前述可变流孔部。
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