本发明提供一种逆向热蒸发银反射膜加介质保护膜的制备方法，采用的膜层序列为Sub/CrNx/Ag/CrNx/SiOx/Air，制备过程中所有的蒸发源位于镜面上方，逆向热蒸发；承载铬(Cr)材料的主要部件为钨杆，承载银(Ag)材料的主要部件为钨丝环，保护膜材料为一氧化硅(SiO)，装载于钽蒸发舟中；在氮气(N2)环境中蒸发Cr形成CrNx，在氧气(O2)环境中蒸发SiO形成SiOx。本发明具有工艺简单、操作方便、设备与材料成本低的优点，能够规避大型光学元件翻面带来的风险。