夹具及具备该夹具的保持器
摘要:
本发明提供一种夹具及具备该夹具的保持器。在夹具(1)中,第1夹持部件(10)具有第1基部(11)及能接触板状的被处理物(W)的其中一侧表面的第1接触部(12),第2夹持部件(20)具有能接触被处理物(W)的另一侧表面的第2接触部(22),夹持部件施力单元(30)对第1夹持部件(10)及第2夹持部件(20)的至少其中之一施加向第1接触部(12)和第2接触部(22)接近的方向的力。第1接触部(12)具有从第1基部(11)延伸的多个板弹簧部(15)。各板弹簧部(15)彼此独立地能弹性变形而接触被处理物(W)。据此,能够抑制被处理物的夹紧位置偏移和该被处理物脱离夹具。
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