发明授权
CN104346808B 基于相位控制模型的重叠测量系统及方法
失效 - 权利终止
- 专利标题: 基于相位控制模型的重叠测量系统及方法
-
申请号: CN201410387176.7申请日: 2014-08-08
-
公开(公告)号: CN104346808B公开(公告)日: 2018-11-16
- 发明人: H·J·郑翁
- 申请人: JSMSW技术有限责任公司
- 申请人地址: 美国加利福尼亚
- 专利权人: JSMSW技术有限责任公司
- 当前专利权人: JSMSW技术有限责任公司
- 当前专利权人地址: 美国加利福尼亚
- 代理机构: 中国国际贸易促进委员会专利商标事务所
- 代理商 罗银燕
- 优先权: 61/863,469 2013.08.08 US
- 主分类号: G06T7/00
- IPC分类号: G06T7/00 ; G06T7/80
摘要:
本发明公开了一种基于相位控制模型的重叠测量系统及方法。其控制经散射的光分量与镜面反射光分量之间的相对相位以在检测之前放大微弱光学信号。甚至在存在图案间干涉的情况下,该系统及方法也利用基于模型的回归图像处理来准确地确定重叠误差。
公开/授权文献
- CN104346808A 基于相位控制模型的重叠测量系统及方法 公开/授权日:2015-02-11