发明授权
- 专利标题: 芯片的密封环结构
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申请号: CN201310345408.8申请日: 2013-08-08
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公开(公告)号: CN104347596B公开(公告)日: 2017-02-08
- 发明人: 宋春 , 陈文磊 , 翟晓永 , 张蔷 , 许亮
- 申请人: 中芯国际集成电路制造(上海)有限公司
- 申请人地址: 上海市浦东新区张江路18号
- 专利权人: 中芯国际集成电路制造(上海)有限公司
- 当前专利权人: 中芯国际集成电路制造(上海)有限公司
- 当前专利权人地址: 上海市浦东新区张江路18号
- 代理机构: 北京康信知识产权代理有限责任公司
- 代理商 吴贵明; 张永明
- 主分类号: H01L23/552
- IPC分类号: H01L23/552
摘要:
本申请提供了一种芯片的密封环结构。该密封环结构包括内密封环,围绕集成电路区设置,具有铝焊盘;以及外密封环,围绕内密封环设置;内密封环包括:一个或多个第一子密封环,与铝焊盘耦连,靠近外密封环设置,且每个第一子密封环包括沿周向排列的一组相互独立的密封条和隔离相邻的密封条的介电隔离条;一个或多个第二子密封环,靠近集成电路区设置;第一介电隔离环,设置在第一子密封环和第二子密封环之间,将第二子密封环和铝焊盘与第一子密封环隔离开。本申请利用第一介电隔离环将第二子密封环与铝焊盘、第一子密封环与第二子密封环隔离开,利用介电隔离条将第一子密封环隔离为相互独立的密封条,避免了集成电路区因短路而失效的缺陷。
公开/授权文献
- CN104347596A 芯片的密封环结构 公开/授权日:2015-02-11
IPC分类: