本发明公开了一种具有复合钝化层的场效应晶体管，从下至上依次主要由衬底，氮化镓缓冲层，氮化镓沟道层，铝镓氮势垒层以及在势垒层上形成有源极、漏极，源极及漏极与势垒层形成欧姆接触，在器件表面覆盖有一层钝化层。在栅极与漏极之间的钝化层由具有较高介电常数的绝缘材料(高‑K介质)和具有较低介电常数的绝缘材料(低‑K介质)在横向上复合而成。由于高‑K和低‑K介质层组成的边界能改变周围的电场分布，从而在器件沟道中引入电场峰值，使得沟道电子气得以充分耗尽，以此提升器件的耐压能力。