发明授权
摘要:
本发明为一种具有差动效应的MEMS矢量水听器敏感结构,解决了现有的弹性隔振结构的声散射问题、只能针对特定频带的噪声进行降幅处理以及结构稳定性、可靠性不足等问题。该敏感结构包括硅基座框架、悬臂梁、中心连接体、上下对称粘结的微型柱状体,十字形悬臂梁上设置有八个应变压敏电阻。工作时,平台的振动以惯性力的形式作用于微型柱状体,上下对称的微型柱状体产生等值、反向的力矩,声信号通过封装结构产生差模信号并作用于上下微型柱状体,上下对称的微型柱状体产生差模力矩。通过该结构的共模抑制,差模输出的特性来达到减振的效果。本发明结构简单、可靠,减振效果明显,不受振动来源、振动频带的影响。
公开/授权文献
- CN104359547A 差动隔振式MEMS矢量水听器 公开/授权日:2015-02-18