纳米结构的引导组装方法
摘要:
本发明提供了一种纳米结构的引导组装方法,包括以下步骤:在具有图案的基材上涂覆包含嵌段共聚物的材料,所述嵌段共聚物包含能形成立体复合物的嵌段;诱导所述嵌段共聚物在基材上相分离得到垂直于基底、贯穿整个薄膜厚度的纳米结构,形成纳米结构的图形。由于所述嵌段共聚物包含可生成立体复合物的嵌段,能够使两嵌段共聚物表现出三嵌段共聚物的特性,在图案周期比聚合物相分离周期大90%的化学图案上依然排列形成无缺陷的纳米结构,从而便于后续复杂图案的制备。在本发明提供的方法中,使用包含能够形成立体复合物的嵌段的两嵌段共聚物时,无需加入均聚物即可获得相区区域拉伸程度较大的纳米结构,并且无缺陷。
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