发明授权
- 专利标题: 纳米结构的引导组装方法
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申请号: CN201410636657.7申请日: 2014-11-10
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公开(公告)号: CN104370274B公开(公告)日: 2016-09-28
- 发明人: 季生象 , 刘亚栋 , 李晓 , 保罗·富兰克林·内利
- 申请人: 中国科学院长春应用化学研究所
- 申请人地址: 吉林省长春市人民大街5625号
- 专利权人: 中国科学院长春应用化学研究所
- 当前专利权人: 中国科学院长春应用化学研究所
- 当前专利权人地址: 吉林省长春市人民大街5625号
- 代理机构: 北京集佳知识产权代理有限公司
- 代理商 赵青朵
- 主分类号: B82B3/00
- IPC分类号: B82B3/00 ; B82Y40/00
摘要:
本发明提供了一种纳米结构的引导组装方法,包括以下步骤:在具有图案的基材上涂覆包含嵌段共聚物的材料,所述嵌段共聚物包含能形成立体复合物的嵌段;诱导所述嵌段共聚物在基材上相分离得到垂直于基底、贯穿整个薄膜厚度的纳米结构,形成纳米结构的图形。由于所述嵌段共聚物包含可生成立体复合物的嵌段,能够使两嵌段共聚物表现出三嵌段共聚物的特性,在图案周期比聚合物相分离周期大90%的化学图案上依然排列形成无缺陷的纳米结构,从而便于后续复杂图案的制备。在本发明提供的方法中,使用包含能够形成立体复合物的嵌段的两嵌段共聚物时,无需加入均聚物即可获得相区区域拉伸程度较大的纳米结构,并且无缺陷。
公开/授权文献
- CN104370274A 纳米结构的引导组装方法 公开/授权日:2015-02-25