一种具有良好侧边形貌的光敏性树脂组合物
摘要:
本发明公开了一种光敏性树脂组合物,经曝光、显影后所形成的干膜图像具有良好的侧边形貌和较高的分辨率。作为主要组分的可进行光聚合树脂具有下列结构通式:(A)u(B)v(C)w(D)x(E)y(F)z,其中,A为甲基丙烯酸,B为丙烯酸,C为甲基丙烯酸甲酯,D为丙烯酸月桂酯,E为碳链数为3-8的(甲基)丙烯酸酯,F为苯氧基乙基丙烯酸酯;本发明提供的感光树脂组合物,其在印刷电路板、引线框架、半导体封装、金属的精密加工等领域中,作为抗蚀阻剂材料,有很好的光敏性、分辨率以及侧边形貌等特性。
公开/授权文献
0/0