发明公开
- 专利标题: 一种具有良好侧边形貌的光敏性树脂组合物
- 专利标题(英): Photosensitive resin composition with good side morphology
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申请号: CN201410763055.8申请日: 2014-12-12
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公开(公告)号: CN104407500A公开(公告)日: 2015-03-11
- 发明人: 李伟杰 , 李志强 , 严晓慧 , 周光大 , 林建华
- 申请人: 杭州福斯特光伏材料股份有限公司
- 申请人地址: 浙江省杭州市临安市锦北街道保锦路
- 专利权人: 杭州福斯特光伏材料股份有限公司
- 当前专利权人: 杭州福斯特电子材料有限公司
- 当前专利权人地址: 311300 浙江省杭州市临安区锦北街道福斯特街8号12幢
- 代理机构: 杭州求是专利事务所有限公司
- 代理商 邱启旺
- 主分类号: G03F7/027
- IPC分类号: G03F7/027
摘要:
本发明公开了一种光敏性树脂组合物,经曝光、显影后所形成的干膜图像具有良好的侧边形貌和较高的分辨率。作为主要组分的可进行光聚合树脂具有下列结构通式:(A)u(B)v(C)w(D)x(E)y(F)z,其中,A为甲基丙烯酸,B为丙烯酸,C为甲基丙烯酸甲酯,D为丙烯酸月桂酯,E为碳链数为3-8的(甲基)丙烯酸酯,F为苯氧基乙基丙烯酸酯;本发明提供的感光树脂组合物,其在印刷电路板、引线框架、半导体封装、金属的精密加工等领域中,作为抗蚀阻剂材料,有很好的光敏性、分辨率以及侧边形貌等特性。
公开/授权文献
- CN104407500B 一种具有良好侧边形貌的光敏性树脂组合物 公开/授权日:2018-02-09
IPC分类: