本发明公开一种带自冲洗功能的等离子废气处理装置，包括一个安装架，设置在安装架外侧面的密封壳体，所述密封壳体上设置有废气进口和废气出口，在密封壳体内设置有等离子反应单元，所述等离子反应单元包括外表面设置有放电尖端的负极管，与负极管同心且套在负极管外的正极管，其特征在于，所述正极管的顶端设置有冲洗正极管内表面的喷淋装置。本发明在等离子废气处理装置上安装一套喷淋装置，通过对等离子废气处理装置工作状态的切换，自动启动喷淋装置对处理装置的内部进行清洗，能够清除由于潮湿而粘附在装置内表面的粉尘及焦油。利用调整装置能够保证每个负极管处于正极管的中心，使各正极管内的反应均匀，保证处理烟气的效果。